سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)

سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) 73 صفحه در قالب word تحقیق آماده و بسیار کامل در مورد میکروالکترونیک، روش های ساخت ادوات ممز و ...       1- 1 - MEMS چیست؟ سیستم های میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) نوعی سیستم هستند که اندازه فیزیکی خیلی کوچکی دارند. این سیستمها دارای اجزای الکتریکی و مکانیکی هستند. هرچند که بعضی اوقات دارای قسمتهای غیر متحرک غیر الکترونیکی ( مثل قسمتهای شیمیایی، بیو شیمیایی و نوری ) نیز هستند. برای ساخت این ادوات خیلی کوچک، از تکنیک ها و موادی که در ساخت ...